真空密封/固定/防刻蚀蜡

Apiezon Wax W / W40 / W100 真空密封/固定/防刻蚀蜡

产品简介

• Apiezon Wax应用广泛，常用于密封接头，固定介质，防刻蚀，吸杂等。

真空密封

• Apiezon蜡常温固态，是永久性（或半永久性）接头刚性密封的理想产品。在20°C下选择不同类型的Apiezon蜡，可用于从10-9 Torr的真空到略微正压系统的密封。Apiezon蜡防水性能极佳，对水蒸气和空气中的水汽也有着优良的密封效果，完全防水渗漏。由饱和蒸汽压与工作温度特性曲线可知，该蜡饱和蒸汽压极低，对薄膜淀积等许多应用非常重要，Apiezon蜡的挥发不会破坏系统内部的真空，也不会污染淀积的薄膜。

Apiezon Wax蜡饱和蒸气压与工作温度的关系

固定介质

• Apiezon蜡是性能优良的固定介质，可对硅片进行临时性或永久性的粘合。固定时先把蜡熔化，然后平整地涂到表面，或先将Apiezon蜡溶解到碳氢化合物溶剂或含氯溶剂中，然后涂到硅片的表面，溶剂蒸发后就会留下薄薄一层粘合力极强的蜡。为了在硅表面获得厚度均匀的蜡，快速旋转硅片，即可生成一层高质量硅片固定介质。

抗刻蚀

• Apiezon蜡广泛应用于硅晶体管和集成电路的生产制造。其化学性质不活泼，可耐HF(氢氟酸)、HNO3（硝酸）和CH3COOH(乙酸)、KOH(氢氧化钾）、TMAH(氢氧化四甲基胺）、EDP(乙二胺邻苯二酚）、NaOH(氢氧化钠）等刻蚀液的腐蚀，但使用烃类或含氯溶剂可轻松将其去除，同时可一并去除很多仅使用溶剂无法清除的杂质。该蜡常作为印刷电路板的保护性涂层，对铜线电路进行全面保护，免受酸刻蚀工艺的影响和空气对其的氧化，而且可通过Apiezon蜡对铜线电路直接进行焊接，该蜡常用于Si、GaAs、GaSb、GaN刻蚀工艺中，也可用于光电集成的lift-off工艺中。

使用方法

• 用玻璃棍、刮铲或类似的工具将已已熔化的蜡涂在所需位置，注意加热或者工作温度不要超过其软化点60℃，也可以先将Apiezon 蜡溶解到烃类溶剂或含氯化溶剂中（比如 100ml 三氯乙烯融入 25g Apiezon W），然后涂到所需的表面，溶剂蒸发后就会留下薄薄一层粘合力极强的蜡。为了获得厚度均匀的蜡，快速旋转基片，即可生成一层高质量固定介质。

吸杂特性

• Apiezon 蜡由含大量支链和不饱和烃的特殊原料提炼而成，具有复杂分子结构和非常高的分子量，因此有很强的吸附能力（尤其对其他烃类分子），可用来吸收金属和玻璃表面油性和化学杂质，这对具有高洁净度要求的电子工业非常有用。

• Apiezon 蜡对电子设备无任何污染，极易用烃类或氯化类溶剂清除。

易清除

• Apiezon蜡使用方便，易于清除，使用无纺布即可将其去除。

• 残余真空脂可用热肥皂水，芳香烃类溶剂（甲苯，二甲苯），氯化烃类溶剂（三氯乙烯）或更安全的溶剂清除，通常推荐D-柠檬酸。

• 备注：由于Apiezon蜡不溶于醇类（酒精，异丙酮）或酮类（丙酮，甲基乙基酮），所以不可用此类溶剂去除。

优选产品

• 大多数情况下优先选 Apiezon Wax W 蜡，该蜡在最宽温度范围内保持多种优良特性：如最佳的连接密封效果、抗酸碱腐蚀能力强、饱和蒸汽压最低和防水性好。公斤包装的 Apiezon Wax W 蜡价格非常便宜；棒状便装使用方便，用小喷灯或本生灯直接加热即可。

多种选择

• 根据不同要求，有三种 Apiezon 蜡可供选择。Wax W 100 是中等硬度真空密封和固定蜡，它比 Wax W要软一些，可降低玻璃接头受震动发生破裂的风险；在所有 Apiezon 蜡中 Wax W 40 是最软的，熔点仅 40℃ - 50℃，可在热水中软化，适合连接热敏感接头。

技术参数

阿皮松真空密封腊：