高频变温杜瓦 VTDW-77K-SMA 产品图
高频变温杜瓦 VTDW-77K-SMA 产品图高频变温杜瓦 VTDW-77K-SMA 产品图

高频变温杜瓦

型号:VTDW-77K-SMA

高频变温杜瓦是青岩光电推出的液氮制冷型真空变温实验设备,配备 SMA 射频信号接口,专为需要低噪声电学信号采集的样品测试场景设计,样品置于高真空腔体内部,可实现样品低温环境下电学、光学等多维度原位表征,广泛应用于半导体器件、光电材料、传感器等科研领域。

详细描述

技术参数

  • 温度范围:77K -300K

  • 控温稳定性:≤±0.1K

  • 制冷方式:液氮制冷

  • 真空漏率:≤1E-9Pa·m³/s

  • 电学接口:SMA真空馈通连接

  • 样品区:适配芯片类样品,支持多引脚器件安装

  • 样品空间尺寸:15×15mm

  • 滤光片尺寸:18×0.9mm

  • 冷屏有效孔径:7.5mm

  • 光学窗口:预留光学观测窗口,支持光路耦合观测

  • 窗口片尺寸:30×2mm

  • 窗口片有效孔径:27mm

  • 窗口到样品的距离:35.10mm

  • 冷屏到样品的距离:15mm

高频变温杜瓦 VTDW-77K-SMA 产品图 详情图 1

产品特点

1. 低噪声信号传输,适配高频电学测试
配置 SMA 射频连接器,实现样品信号低噪声引出,减少信号干扰,保障微弱电信号测量的完整性;预留多通道信号馈通,可满足多引脚器件样品的同步测试,适配芯片、光电探测器、传感元件等样品。
2. 高真空密封性能,腔体可靠性优异
整机严格氦质谱检漏,漏率≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s,腔体可维持高真空环境,有效抑制空气热传导,降低低温下样品结霜、氧化问题,保障低温实验长期稳定运行。
3. 液氮制冷,温度可控可调
采用液氮作为制冷介质,依托内置加热元件实现变温控制,实现 77K 及以上区间变温实验;样品腔布局紧凑,冷屏结构优化,冷屏开孔、窗口位置经过结构优化,预留光学观测窗口,可兼容外部光路,支持光学观测与电学测试同步开展。
4. 结构集成度高,使用便捷
设备集成液氮加注口、排气阀、信号接头,操作流程简单;样品安装区域标准化,方便样品拆装更换;整机机械结构稳固,便于对接探针台、光学平台、测试仪表等外部科研设备。